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【CASE3】ウェハのノイズ発生
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問題解決事例
【CASE3】ウェハのノイズ発生
課題:ウェハの特性評価を行う際にノイズが発生し、正確なデータが測定できずに問題となっていた。
解決策:
電波吸収セラミックスでの特注加工対応を提案。
ウェハサイズに合わせて設計し、硬質で、真空環境でも使用できるメリットにも着目。
ノイズ対策となり正確なデータ測定ができるようになった。